產品名稱：

IVS CD&Overlay量測系統

產品廠牌：

INSPECTROLOGY

產品簡述：

IVS量測系統提供了無與倫比的CD和Overlay的測量性能與可靠度，並且具有低的擁有成本。應用範圍: 矽，砷化鎵 氮化鎵，碳化矽，石英，磷化銦 等基板。

應用領域:

半導體、LED廠、太陽能廠