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CVP21支援以下:- IV族半導體：矽 (Si)、鍺 (Ge) 和碳化矽 (SiC)
- III-V族半導體：砷化鎵 (GaAs)、磷化銦 (InP)、磷化鎵 (GaP) 等
- 三元族III-V合金：砷化鋁鎵（AlGaAs）、磷化鎵銦（GaInP）、砷化鋁銦（AlInAs）等
- 四元族III-V 合金：磷化鋁鎵銦 (AlGaInP) 等
- 氮化物：氮化鎵（GaN）、氮化鋁鎵（AlGaN）、氮化銦鎵（InGaN）、氮化鋁銦（AlInN）
- II-VI族半導體：氧化鋅 (ZnO)、碲化鎘 (CdTe) 和碲化汞鎘 (HgCdTe、MCT)
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