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Evactron® Model E25 Plasma De-Contaminators™
Evactron® E25 透過儲存在其內部記憶體中的工廠編程設定簡化了等離子操作，從而減少了對操作員進行大量培訓的需要。 這款緊湊型桌上型控制器具有嵌入式軟體，可調節洩漏閥並透過 MicroPirani™ 壓力表控制腔室壓力。 它還管理射頻功率，並包括一個內建時鐘，用於對下游等離子體清潔和氮氣吹掃週期進行計時。 操作資料和故障事件由微處理器記錄。 使用者可以使用編碼器旋鈕調整參數，選單選項顯示在前面板上。 啟用/停用按鈕可啟動等離子清潔系統。此外，RS232 介面允許使用提供的圖形使用者介面 (GUI) 將關鍵參數（例如射頻功率（正向和反射）、真空度和操作/故障日誌）傳輸到遠端電腦。
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Evactron® E50 Plasma De-Contaminators™
Evactron® E50 淨化器是一款小巧高性能等離子清潔器，專為電子和離子束儀器（包括 SEM、TEM 和 FIB）而設計。 E50 提供強大的清潔功能，可增強解析度和成像，同時提高偵測器和探頭的靈敏度（污染可能會影響靈敏度）。 憑藉其高功率清潔功能，Evactron® E50 可確保在各種壓力下進行快速有效的清潔，從而獲得高品質、無偽影的影像並提高樣品分析效率。
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Ex-situ Lift Off System
可以直接從6”~12”晶圓上進行樣品EXLO（腔外去除和TEM樣品製備），比原位剝離更快、更準確地製備用於TEM分析的樣品。
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