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快速檢測- 載入任務檔後即可執行檢測
- 缺陷資料自動分類、計數功能
- 操作簡單
- 一鍵自動檢測
- 檢測資料保存
- 介面操作簡單
- 統一管理
- 量測報表(Excel、CSV)自動匯出
- 半導體設備通訊介面SECS/GEM
- 客製化功能
- 報表輸出客制化
- 自製軟體,可配合客戶軟體功能擴充
- 可配合需求修改軟體流程,增加人機介面友善度
| 規格 | |
|---|---|
| 光學應用 | 採用超高解析 line-Scan CCD Camera |
| 光學解析度 | 5um 可(依客戶需求配置) |
| 檢測範圍 | Max. 12吋wafer |
| Cycle time | 3 min / pcs |
| 電壓 | 220V |
| 空氣壓力需求 | 5kg以上 |
| Port數量 | 2 - Port 可(依客戶需求配置) |
| 尺 寸（mm） | 1985 X 2275 X 2200 |
| 重量 | 約600KG |
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