產品介紹

Evactron® E25 透過儲存在其內部記憶體中的工廠編程設定簡化了等離子操作，從而減少了對操作員進行大量培訓的需要。
這款緊湊型桌上型控制器具有嵌入式軟體，可調節洩漏閥並透過 MicroPirani™ 壓力表控制腔室壓力。
它還管理射頻功率，並包括一個內建時鐘，用於對下游等離子體清潔和氮氣吹掃週期進行計時。
操作資料和故障事件由微處理器記錄。

使用者可以使用編碼器旋鈕調整參數，選單選項顯示在前面板上。
啟用/停用按鈕可啟動等離子清潔系統。此外，RS232 介面允許使用提供的圖形使用者介面 (GUI) 將關鍵參數（例如射頻功率（正向和反射）、真空度和操作/故障日誌）傳輸到遠端電腦。