产品名称：

IVS CD& Overlay量测系统

产品厂牌：

INSPECTROLOGY

产品简述：

IVS量测系统提供了无与伦比的CD和Overlay的测量性能与可靠度，并且具有低的拥有成本。应用范围：矽，砷化镓 氮化镓，碳化矽，石英，磷化铟等基板。

应用领域：

半导体，LED厂，太阳能厂