iStar以精密機械、精密光電、精密運動、精準控制，以及複雜軟體為核心技術，研發半導體、泛半導體、精準製造、新能源、生醫等領域的創新裝備。

主要產品為: iAS系列曝光機, iAB 自動晶圓鍵合設備, iCB 自動晶片鍵合設備。