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2010 年,Lucille 重新審視了異位提昇技術,並透過名為 EXpressLO™ 的專利*網格設計和方法開發了更高的靈活性。
可以直接從6”~12”晶圓上進行樣品EXLO(腔外去除和TEM樣品製備),比原位剝離更快、更準確地製備用於TEM分析的樣品。
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