產品介紹

共振超音波振動 (RUV) 方法採用創新方法，利用專利技術來評估全尺寸晶體矽 (Si) 晶圓的機械品質。
RUV-2 Core 型號專門用於執行裂縫和應力檢測，為操作員提供每個測量單元的「Go/No-Go」訊號。
資料檔案包含整個抑制方案（抑制閾值、頻率視窗等）、測量的 RUV 參數 - 振幅、頻寬和峰值位置以及通過/失敗指示。